介质阻挡放电过程中，电子从电场中获得，通过碰撞将转化为污染物分子的内能或动能，这些获得的分子被激发或发生电离形成基团，同时空气中的氧气和水分在高能电子的作用下也可产生大量的态氢、臭氧和羟基氧等基团，这些基团相互碰撞后便引发了一系列复杂的物理、化学反应。从等离子体的基团组成可以看出，等离子体内部富含化学的粒子，如电子、离子、基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高的基团发生反应，终转化为CO2和H2O等物质，从而达到净化废气的目的。